干式真空泵 A4X 系列

耐腐蚀设计，使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀，耐粉尘

干式真空泵 A4X 系列应用：
半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业：光伏和 LED

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干式真空泵 A4X 系列抽速: 160 至 1700 m3/h

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耐腐蚀设计，使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀，耐粉尘

干式真空泵 A4X 系列应用：
半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业：光伏和 LED

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技术规格

上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业，干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求，特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高，有效降低了企业成本。

干式真空泵 A4X 系列核心优势：
耐腐蚀设计，使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀，耐粉尘

干式真空泵 A4X 系列应用：
半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业：光伏和 LED

干式真空泵 A4X 系列技术参数：

型号	A 124 H	A 604 H	A 1204 H	A 204 H A 204 X	A 804 H A 804 X	A 1504 H A 1504 X	A 1804 H A 1804 X
抽速 m3/h	110	560	1150	160	700	1200	1700
极限真空 (氮气吹扫阀关闭) hPa	2X10^-2	2X10^-⁴	9X10^-4	5X10^-²	2X10^-³	2X10^-3	2X10^-3
极限真空 (氮气吹扫阀50 SLM) hPa	5X10^-2	6X10^-³	6X10^-3	2X10^-¹	9X10^-3	9X10^-3	9X10^-3
全转速最大进气气流 SLM	80	60	55	150	100	100	70
最大功率 KW	1.5	1.9	2.3	1.8	2.2	2.6	2.6
最大排气压力hPa	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200
进气口 ISO-KF	DN 50	DN 100	DN 160	DN 50	DN 100	DN 160	DN 160
重量 kg	250	370	530	260	380	540	540